研究设计出图形化氧化铟锡膜臭氧传感器
2026/02/26
近日,中国科学院合肥物质科学研究院等,以常规氧化铟锡玻璃为基体,采用飞秒激光刻蚀与等离子体刻蚀工艺,设计了基于图形化氧化铟锡膜的臭氧传感器。该传感器凭借独特的自加热设计和等离子体表面改性技术,实现了对微型环境级(ppb)臭氧的精准、快速、稳定监测。
近地面臭氧污染是大气监测的重点,开发微型环境级臭氧传感器备受关注。针对传统金属氧化物半导体臭氧传感器面临的外部加热易分解臭氧、湿度干扰大、晶圆级量产一致性差等问题,团队提出了全新的自上而下的自加热氧化铟锡传感器制造策略。
该策略以商用氧化铟锡玻璃为基底,通过飞秒激光刻蚀形成蛇形电极结构;采用氩氢等离子体刻蚀,对平滑的氧化铟锡膜粗糙化,提升了臭氧的吸附及电荷交换。在激光切片后,最终制成尺寸仅为1.4×2.1×0.3 mm3的微型臭氧传感器。这一传感器通过自加热的方式,无需外加热,将敏感区局域温度升至180 ℃,避免了传感器周边臭氧分子的分解消耗。氧化铟锡传感器对臭氧选择性高、受环境湿度干扰弱,可准确监测20–1000 ppb臭氧,与国际“金标准”紫外吸收法分析仪相关性达93.6%。
该传感器制备工艺简单、易实现晶圆级批量制备,性能一致性高,能够满足室内外臭氧大气污染网格化精细监测需求。
相关研究成果发表在《纳米快报》(Nano Letters)上。研究工作得到国家自然科学基金等的支持。
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文章来源合肥物质科学研究院,分享只为学术交流,如涉及侵权问题请联系我们,我们将及时修改或删除。
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