- 研究生发表一篇sci论文有哪些好 58
- 气象研究员出版著作的一般方法 63
- 在省级期刊上发表一篇论文多少费用 90
- 写论文封面怎么提前做好相关的规划 56
- 生物医学实验室应该发表英文论文吗 73
- 能源类的SCI一二三四区期刊的意 35
- 修改学术论文的实用方法 16
- 《现代药物与临床》期刊指南 46
- 种子科学与工程;方向优秀论文题目 53
- 交通设备与控制工程方向优秀论文题 68
- 学术会议直播主持的一些技巧 76
- 更多关于SCI和EI的内容 23
- 北京大学深圳研究生院田永鸿团队脉 57
- 学术会议纪要通常包含的内容 57
- 论文期刊“优先出版”是什么意思 74
- 西北大学信息科学与技术学院 17421
- 湖北学而升文化传播有限公司 23399
- 中山大学药学院 17385
- 澳門科技大學 1413
- 华建文文化交流有限公司 22413
- 成夏 22368
- 上海同巨文化传播有限公司 7365
- 武汉cee主办方 17390
- 清华大学 环境学院 1388
- 南通纺织职业技术学院 17413
- IETP-Association 23387
- 国际工学技术出版协会 1394
- 尚阳盈通(北京)数据系统有限公司 17401
- 上海生物谷 23411
- 广州奥格尔展览有限公司 7375
- MFJYT 7383
- webcheck 22395
- 广东标杆会展有限公司 7409
- APISE 22407
- 第十三届全国渗流力学学术会议暨渗 1432
东南大学孙立涛教授团队在可视化原子尺度制造方面取得进展
2024/04/25
图 液体环境中纳米气泡加速金刻蚀的示意图a、透射电镜实验图b和反应机理图c
在国家自然科学基金项目(批准号:51420105003、11327901、1525415)等资助下,东南大学孙立涛教授团队及合作者在可视化原子尺度制造原理及工艺方面取得进展。相关研究成果以 “气体类遂穿效应加速固-液-气三相反应(Solid-liquid-gas reaction accelerated by gas molecule tunneling-like effect)”为题,于2022年5月26日发表在《自然•材料》(Nature Materials)期刊上。论文链接:https://www.nature.com/articles/s41563-022-01261-x。
湿法刻蚀广泛应用于半导体制造等重要领域,但湿法刻蚀方向选择性有限,很难得到尺寸精确可控的微纳结构。而当前7 nm、5 nm等先进晶体管器件对于内部金属、半导体和介电层等结构的几何尺寸具有亚纳米级的严苛精度要求。微纳尺度的固-液-气反应是集成电路湿法刻蚀制造中的基本物理化学过程,在大气腐蚀、生物有氧呼吸、光催化、燃料电池等自然界和工业界也广泛存在。由于在纳米尺度追踪三相界面的演变非常困难,所以一直缺乏对反应动力学的定量分析和对三相界面处气体传输机制的准确理解。
孙立涛教授团队基于自主搭建的原位电子显微学系统,实时观察了纳米气泡可显著加速(~20倍)湿法刻蚀的全过程,从原子尺度揭示了刻蚀过程中完整的固-液-气三相反应机制。研究团队通过实验发现仅当纳米气泡与固体之间的距离小于临界尺寸(~1 nm)时,刻蚀速率才显著提升(一个量级以上);否则,刻蚀速率几乎不变。结合大量实验定量分析和分子动力学模拟,提出范德华力诱导的气体分子“类遂穿”效应是加速刻蚀反应的主要原因,对日常生活中常见的各类三相反应现象的准确理解提供了实验依据。该成果有望大幅提升湿法刻蚀技术在刻蚀方向、尺寸的可控性,为建立工艺参数-结构尺寸模型,加速工艺研发提供基础支撑作用,也为未来微纳加工领域提供了一种新技术。
文章来源国家自然科学基金委员会,分享只为学术交流,如涉及侵权问题请联系我们,我们将及时修改或删除。
天津大学巩金龙团队在计算描述符指导工业催化剂设计方面取得进展
清华大学环境学院张少君课题组合作在城市空气污染的环境公平性研究方面取得新进展
电子科技大学夏川课题组在电化学-生物系统用二氧化碳和水合成含能长链产品方面取得进展
化学学院余志祥课题组十五年的[5+2+1]反应机理研究取得进展
清华大学 化工系王玉军课题组合作在工业酶固定化新方法研究中取得突破
化学系刘凯、张洪杰团队开发活细胞内DNA大数据存储与定点修改系统
北京大学生命科学学院李毓龙实验室新升级第二代去甲肾上腺素探针助力活体神经递质研究
第三届机电一体化与机械工程国际会议(ICMME2024)(2024-05-24)
2024年电子器件、传感控制技术与光学机械工程国际学术会议(EDSCTOE 2024)(2024-05-25)
第十四届地质和地球物理学国际会议(ICGG 2024)(2024-05-31)
2024年食品工程与农业科学国际会议(ICFEAS 2024)(2024-06-02)
2024年第三届网络、通信与信息技术国际会议(CNCIT 2024)(2024-06-07)
第四届计算机图形学、图像与虚拟化研究国际会议(ICCGIV 2024)(2024-06-07)
第十届机械工程、材料和自动化技术国际会议(MMEAT 2024)(2024-06-21)
第二届电力、电网与储能国际学术会议(PGES 2024)(2024-06-21)
2024年先进机器人,自动化工程与机器学习国际会议(ARAEML 2024)(2024-06-28)
第五届机械工程、智能制造与机电一体化学术会议暨 2024年汽车新材料新工艺技术论坛(MEIMM2024)(2024-07-05)
2024年生物技术与医学科学国际学术研讨会(ISBAMS 2024)(2024-5-29)
2024年社会发展与现代化教育国际研讨会 (ISSDME 2024)(2024-5-29)
2024年智能系统、网络安全与自动化国际研讨会(ISISCA 2024)(2024-6-28)
2024年经济、大数据与区块链国际学术会议(ICEBDB 2024)(2024-5-29)
2024年资源、能源与化学科学国际学术会议(ICRECS 2024)(2024-7-31)
2024年教育、心理学与社会科学国际学术会议(ICEPSS 2024)(2024-6-31)
2024年社会信息学与文化交流国际会议(ICSCE 2024)(2024-5-30)
2024年商业经济与文化产业国际学术会议(ISBECI 2024)(2024-7-31)
2024网络安全、应用与信息工程国际学术会议(ICNSAIE 2024)(2024-5-30)
2024年旅游产业与经济文化发展国际学术会议(ICTIECD 2024)(2024-5-29)