- 关于课程论文文稿格式要求有哪些 44
- 正规出版专著有哪些特点? 48
- 如何写科学催稿信的模板和范例 46
- 如何查询发表的著作和论文 74
- 关于《北华大学学报》期刊的简单介 37
- 如何选择合适的EI投稿期刊及应该 43
- 怎样才能顺利发表一篇学术论文? 65
- sci四区发论文要数据吗 36
- 个人出版书籍是否可以发行呢? 46
- 关于外科方向论文题目借鉴及期刊发 43
- 探讨眼科的课题方向 46
- 介绍一些与分布式计算相关的优秀论 34
- 发表建筑论文的写作指导有哪些 41
- 《东南学术》的栏目主要分为哪些? 46
- 《北京医学》期刊涵盖的主题内容有 37
- 北京市计算中心 7350
- 中国力学学会 20366
- 武汉志明文化服务有限公司 7403
- 南京市东南大学 1406
- 恒宇房地产公司 20388
- HKSME 22365
- 天津市科学技术信息研究所 17392
- 中科院国家空间科学中心 23413
- 海南新旅程会议会展有限公司 22386
- 上海信谊药厂有限公司 17385
- 中南民族大学 23422
- 云南大学化学科学与工程学院 20396
- 上海麦峰医学科技有限公司 22408
- 敦化市医药行业协会 23386
- 亚洲财富论坛 17372
- 湖南省系统工程与管理学会 22446
- 上海市粘接技术协会 20402
- 汕头大学法学院 20414
- 桂林中桂商务会议服务有限公司 20355
- 广西北海康辉旅行社 17372
清华大学核研院新型能源与材料化学团队在超高感光度光刻胶研发领域取得重要进展
2024/03/29
光刻胶是集成电路芯片大规模制造的关键材料,在技术发展到深紫外(DUV)、极紫外(EUV)光刻阶段后,光刻胶对光源的敏感度不足,大大推高了光刻机及其配套光源的制造难度和成本。近日,清华大学核能与新能源技术研究院新型能源与材料化学团队将高效的巯基-乙烯点击化学技术与多官能团金属氧化物纳米团簇光刻胶技术相结合,全球首次提出了“点击光刻”新思路、新方法,并成功制得了超高感光度光刻胶样品。国际权威机构的光刻测试结果表明,这种材料能在极低曝光剂量下实现高对比度成像。在深紫外光刻中最高感光度为7.5 mJ cm-2,与传统的光刻胶体系相比所需曝光剂量降低了约20倍。
与此同时,通过低剂量电子束光刻(10-40 μC cm-2)获得线宽分辨率为45nm的密集图形,展示了其应用于高分辨率光刻的能力。接下来作者还对制备得到的基于点击反应的氧化锆光刻胶的后加工性质、抗刻蚀能力以及图形转移能力等进行了初步研究。
图1.点击光刻策略示意图
图2.点击光刻结果
该研究成果不但可以有力支持新型高效光刻胶的开发,更有望带来光刻机及其配套光源系统设计、制造、运行的重大变革,大大降低难度和成本,有可能开辟光刻机技术新赛道,对集成电路技术进步和产业发展产生深远影响。该技术也可以在其他高效、高精度纳米制造领域发挥重大作用。
上述研究成果以“巯基-乙烯点击光刻的超高感光特性”(Exceptional Light Sensitivity by Thiol–Ene Click Lithography)为题发表在《美国化学会志》(Journal of the American Chemical Society)上。
论文的共同通讯作者为清华大学核能与新能源技术研究院新型能源与材料化学实验室徐宏副教授和何向明研究员,第一作者为清华大学博士后王倩倩。该研究获得国家自然科学基金项目、北京市科委项目和清华大学自主科研项目的资助。清华大学高性能计算中心提供了计算资源的支持。
文章来源清华大学新闻,分享只为学术交流,如涉及侵权问题请联系我们,我们将及时修改或删除。
北京大学电子学院张志勇和康宁联合课题组在碳纳米管栅控量子干涉效应研究中取得重要进展
北京大学张俊龙教授团队与海外合作者在有机镍光诊疗研究领域取得进展
唐淳和合作者运用结构预测和交联质谱,搭建冷冻电镜中的“缺失”结构
清华大学 工物系团队在自准直SPECT高分辨率成像研究领域取得新进展
第十一届先进制造技术与材料工程国际学术会议 (AMTME 2024)(2024-05-17)
第五届计算机通信与网络安全国际学术会议 (CCNS 2024)(2024-05-17)
2024年教育政策与实践研讨会(ICEPP 2024)(2024-05-24)
第九届机电控制技术与交通运输国际学术会议(ICECTT 2024)(2024-05-24)
第三届机电一体化与机械工程国际会议(ICMME2024)(2024-05-24)
2024年电子器件、传感控制技术与光学机械工程国际学术会议(EDSCTOE 2024)(2024-05-25)
第十四届地质和地球物理学国际会议(ICGG 2024)(2024-05-31)
2024年食品工程与农业科学国际会议(ICFEAS 2024)(2024-06-02)
2024年第三届网络、通信与信息技术国际会议(CNCIT 2024)(2024-06-07)
2024年先进机器人,自动化工程与机器学习国际会议(ARAEML 2024)(2024-06-28)
2024年第八届商务与信息管理国际会议(ICBIM 2024)(2024-8-16)
2024工业建筑与结构工程国际会议(ICIASE 2024)(2024-5-18)
2024先进材料、仿真设计与机械智能控制国际会议(ICAMSDI 2024)(2024-6-18)
2024数据处理、计算机仿真与建模国际学术会议(ICDPCSM 2024)(2024-5-28)
2024年现代物流运输,计算机技术与管理学国际会议(MLTCTM 2024)(2024-5-29)
2024年新能源、环境工程与可再生利用国际学术会议(NEEERU 2024)(2024-5-30)
2024自动化工程、机械设计与仿真国际会议(CAEMD 2024)(2024-5-16)
2024年模式识别,图像处理与仿真国际会议·(PRIPS 2024)(2024-5-16)
2024年第六届机器人与计算机视觉国际会议(ICRCV 2024)(2024-9-20)
2024人工智能、高性能计算与算法国际会议(AIHPCA 2024)(2024-6-29)