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清华大学微纳加工中心新超净实验室启用

2025/09/19

文章导读
9月15日,清华大学微纳加工中心新超净实验室正式启用!这座面积达2000平方米的百级、千级洁净空间,配备湿法清洗、光刻、刻蚀、ALD、真空互联等全链条工艺能力,将如何支撑芯片、材料等前沿科研突破?副校长吴华强强调:要打造国际一流标杆平台。从空间规划到用户需求,从设备升级到开放共享,这个校级核心实验室正加速迈向高水平运行。揭秘顶尖微纳制造背后的硬核实力,看清华如何夯实科技创新“地基”。
— 内容由好学术AI分析文章内容生成,仅供参考。

9月15日,清华大学微纳加工中心新超净实验室启用座谈会在自强科技楼举行。副校长吴华强出席并主持座谈会。

清华大学清华大学微纳加工中心新超净实验室启用

座谈会现场

吴华强表示,微纳加工中心要明确目标,做好发展规划,努力建设国际一流水平的标杆实验室,在服务学校教学与科研方面发挥更大作用。要进一步加强规范化管理,充分调研国内外高水平实验室、调研用户需求、调研新设备新实验手段,从空间应用、中心发展等方面做更细致的规划安排。

集成电路学院副院长、微纳加工中心主任唐建石汇报了新超净实验室建设和搬迁情况,以及中心下一步工作计划。微纳加工中心用户代表,集成电路学院教授任天令和为先书院副院长、材料学院教授宋成祝贺新超净实验室正式启用,希望中心不断进步,打造高水平科研平台。

基建处副处长杨军、实验室处副处长屠中华、资产处处长王玉英先后发言表示,将持续关注新超净实验室的建设运行,希望中心进一步发挥更大作用,逐步建成国际一流的实验平台。

集成电路学院相关负责人、微纳加工中心用户代表等30余人参加座谈会。

清华大学微纳加工中心是校级教学科研实验平台,新超净实验室拥有百级和千级的主超净间面积2000平方米,同时管理800余平方米的万级DIY实验室,可提供湿法与清洗、氧化、CVD、ALD、溅射蒸发、光刻、刻蚀、离子注入、封装、测试、真空互联等工艺与测试服务。


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