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  • (MEMS)即微机电系统(Micro-Electro-MechanicalSystems),是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的21世纪前沿技术。在消费电子、物联网、石油勘探、开采、环境监测、医疗、生化、汽车工业、航空航天以及国家安全等领域,MEMS具有巨大的市场需求和国产化需要。 作为中国最……
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